3,、粒子物質(zhì):很多地方都容易產(chǎn)生,,如炭床、樹脂床,、深層過濾等一些設備,。雖然用一些方法使達到高電阻率,但沒有有效地除去粒子物質(zhì),。這就會使半導體器件出現(xiàn)針孔,、短路、斷路,、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷,。除去粒子物質(zhì),只有用膜濾,,一般標準用孔徑為0.45微米的微孔濾膜,,特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜,除去膠體鐵,、膠體硅和小細菌,。反滲透設備也能除去小粒子。
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