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實驗室超純水機可以去除水中哪些雜質(zhì)
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  水中含有很多的雜質(zhì),,只有去除水中的雜質(zhì)才能用在對水純度要求很高的行業(yè)中,實驗室超純水機能夠去除水中的各種雜質(zhì),,經(jīng)過實驗室超純水機處理后的水,,可以滿足電子行業(yè)、實驗室等高標準用水,,那么實驗室超純水機可以去除水中哪些雜質(zhì)呢,。

  1、溶解的無機鹽:有鈉,、鈣,、鎂等鹽類,溶于水形成正離子,。含有這些離子的水沖洗半導體器件時,,會使這些不純物擴散到集成電路表面,造成短路,。過去除去水中無機鹽是將水蒸餾,,但就是三次重蒸餾水,水的電阻率僅3兆歐—厘米,,水中仍含有大于01ppm的NaCl,。最近有用反滲透法去離子。所以要用離子交換樹脂,。陽離子交換脂和陰離子交換樹脂分別使用,,易于再生,,混合床離子交換樹脂用在離子交換的終級,起把關的作用,。這樣出來的水可達18兆歐—厘米(25攝氏度),。
 2、溶解的有機物:有工業(yè)排出污物,、洗滌劑、生物分解物和微生物的新陳代謝產(chǎn)物,。這些可以用活性炭吸附方法除去,。炭床要置于離子交換樹脂之前,因活性炭本身會帶來雜質(zhì),。必須注意,,進入樹脂床的水要先除去有機物,因為離子交換樹脂易為有機物(如腐殖酸)污染,。反滲透可除去分子量大于300的有機物,,分子量小于300的有機物可除去90%。

  3,、粒子物質(zhì):很多地方都容易產(chǎn)生,,如炭床、樹脂床,、深層過濾等一些設備,。雖然用一些方法使達到高電阻率,但沒有有效地除去粒子物質(zhì),。這就會使半導體器件出現(xiàn)針孔,、短路、斷路,、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷,。除去粒子物質(zhì),只有用膜濾,,一般標準用孔徑為0.45微米的微孔濾膜,,特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜,除去膠體鐵,、膠體硅和小細菌,。反滲透設備也能除去小粒子。



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