3,、粒子物質(zhì)：很多地方都容易產(chǎn)生,，如炭床、樹脂床,、深層過濾等一些設(shè)備,。雖然用一些方法使達(dá)到高電阻率，但沒有有效地除去粒子物質(zhì),。這就會(huì)使半導(dǎo)體器件出現(xiàn)針孔,、短路、斷路,、內(nèi)部擊穿和光致抗蝕劑脫落等缺陷,。除去粒子物質(zhì)，只有用膜濾,，一般標(biāo)準(zhǔn)用孔徑為0.45微米的微孔濾膜,，特殊需要用孔徑為0.22微米的微孔濾膜，除去膠體鐵,、膠體硅和小細(xì)菌,。反滲透設(shè)備也能除去小粒子,。

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